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微电子技术联合实验室第一次执行会议召开

  

  4月12日,微电子所与日本爱发科株式会社、爱发科(苏州)技术研究开发有限公司召开微电子技术联合实验室第一次执行会议。相关方领导及技术专家共30余人参加了会议。会议由微电子所所长助理、先导中心主任王文武主持。

  微电子所所长叶甜春、日本爱发科株式会社社长小日向久治分别致辞。爱发科(苏州)技术研究开发有限公司部长李茂林详细报告了SEM-200设备的调试进展,介绍了双方即将开展的PZT、磁性薄膜技术有关情况。微电子所先导中心副主任李俊峰汇报了已开展的AlN、Mo、VOx、Ge PVD工艺开发和相关器件调试结果,并结合客户需求对设备性能的改善提出了建议。

  小日向社长对微电子所的工作进度和成果给予了充分的肯定。双方对下一步合作方向和规划进行了讨论和交流,一致表示将在市场信息分享、新技术应用等方面进行更加深入的合作。

会议现场

 

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